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NanoFocus μscan 三維激光掃描輪廓儀

簡(jiǎn)要描述：μscan系列機(jī)臺(tái)采用模塊化設(shè)計(jì)，特點(diǎn)是快速測(cè)量、不接觸、不破壞、自動(dòng)化。主要應(yīng)用于材料表面的三維輪廓測(cè)量，粗糙度測(cè)量，寬度，高度，角度，半徑、粗糙度等二維、三維數(shù)據(jù)分析。能直接測(cè)量較大面積的樣品，而不用通過拼接。
NanoFocus μscan 三維激光掃描輪廓儀

  • 產(chǎn)品型號(hào)：
  • 廠商性質(zhì)：代理商
  • 更新時(shí)間：2022-11-17
  • 訪  問  量：1993

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應(yīng)用領(lǐng)域綜合

NanoFocus μscan 三維激光掃描輪廓儀

μscan系列機(jī)臺(tái)采用模塊化設(shè)計(jì)，特點(diǎn)是快速測(cè)量、不接觸、不破壞、自動(dòng)化。主要應(yīng)用于材料表面的三維輪廓測(cè)量，粗糙度測(cè)量，寬度，高度，角度，半徑、粗糙度等二維、三維數(shù)據(jù)分析。能直接測(cè)量較大面積的樣品，而不用通過拼接。 
μScan的中心部件掃描模塊(x/y方向樣品掃描)可以和不同的傳感器(Z方向測(cè)量)連用，如Confocal point sensor(CF)、Autofocus sensor(AF)、Chromatic white light sensor(CLA)、Holographic sensor(CP)等。目前主配的是連接CF4激光共聚焦傳感器。 
CF4激光共聚焦傳感器內(nèi)，被照亮的小孔成像在被測(cè)量的表面，激光光束經(jīng)由物鏡迅速上下移動(dòng)聚焦于待測(cè)物上，只有當(dāng)焦平面和真實(shí)表面的點(diǎn)配對(duì)的時(shí)候，探測(cè)器才記錄到一個(gè)表面信號(hào)。因此物鏡得通過小的垂直步位移動(dòng)，使信號(hào)通過位移傳感器的位置移動(dòng)被測(cè)出。根據(jù)特殊的內(nèi)插技術(shù)，該系統(tǒng)的精度能達(dá)到10nm以下。

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